اب فوق خالص

آب فوق خالص. آب فوق خالص (به انگلیسی: Ultrapure Water) به آبی گفته می شود که تا محدوده های غیرمتداولی برابر معیارهای خاصی خالص گردیده است. از این آب معمولاً در صنایع ساخت نیمه هادی ها استفاده می شود. در این آب هدایت الکتریکی می تواند به کمی ۰٫۰۵۶ میکرو زیمنس برسد. غالباً در زمان بررسی آب فوق خالص به جای سنجش رسانش الکتریکی از مقاومت الکتریکی با واحد مگااهم (که معکوس میکرو زیمنس است) استفاده می شود. به این ترتیب مقاومت الکتریکی آب فوق خالصی با هدایت الکتریکی ۰٫۰۵۶ میکروزیمنس برابر ۱۸ مگا اهم است.
آب فوق خالص با آب دیونیزه شده که واژهٔ متداولی است تفاوت دارد. علاوه بر این که آب فوق خالص فاقد ذرات ارگانیک و گازهای محلول است، یک سیستم تهیهٔ آب فوق خالص شامل سه مرحله است: مرحلهٔ پیش تصفیه که تهیهٔ آب خالص است، یک مرحلهٔ اولیه برای خالص سازی بیشتر آب، و مرحلهٔ نهایی و پرهزینه ترین قسمت که تمیزکاری نهایی یا پولیش کاری آب می باشد.
جامع ترین استانداردهایی که الزامات ساخت آب فوق خالص را تعیین می کنند استاندارد ASTM D5127 و SEMI F63 می باشند.
از آب فوق خالص به عنوان آب خوراک دیگ بخار در ناوگان UK AGR نیز استفاده می شود.