طیف بینی فوتوالکترون پرتو ایکس

طیف سنجی فوتوالکترون پرتو ایکس (به انگلیسی: X-ray photoelectron spectroscopy) گونه ای طیف سنجی کمی ست که در آن با تاباندن پرتو ایکس و اندازه گیری همزمان تعداد الکترون آزاد شده از در فاصله ۱ تا ۱۰ نانومتری سطح، و انرژی جنبشی این الکترونها، طیفهایی بدست می آید که بیانگر برخی ویژگی های ماده است. این روش نیاز به خلأ بسیار بالا (حدود 10-7‎ تا -10‎ بار) دارد.
شناسایی عناصر روی سطح (فاصله ۱۰ نانومتر) و مقدار آن ها برای تمامی سطوح بجز هیدروژن و هلیم
شناسایی فرمول تجربی
شناسایی حالت شیمیایی و الکترونی هر عنصر روی سطح
شناسایی ناخالصی های روی سطح
پروفایل های ترکیبی توزیع عنصری در فیلم های (لایه های) نازک
آنالیز ترکیب نمونه ها، هنگامی که باید از تأثیرات مخرب تکنیکهای اشعه الکترونی، پرهیز شود.
از آنجا که انرژی پرتو ایکس تابانده شده مشخص است، می توان انرژی الکترون گسیل شده را به وسیلهٔ قانون کار رادرفورد بدست آورد:
که E binding {\displaystyle E_{\text{binding}}} انرژی پیوند الکترون، E photon {\displaystyle E_{\text{photon}}} انرژی پرتو ایکس تابانده شده، E kinetic {\displaystyle E_{\text{kinetic}}} انرژی جنبشی الکترون (بوسیله دستگاه ویژه ای اندازه گیری می شود) و ϕ {\displaystyle \phi } تابع کار طیف سنج (و نه ماده) است.
زمانی که ماده با یک نور با انرژی لازم برهم کنش داشته باشد، یونیزاسیون رخ خواهد داد.