surface micromachining

[برق و الکترونیک] ریز ماشین کاری سطحی روش ریز ماشینکاری که از لایه های رشد داده شده یا نشانده شده ی آلومینیم یا سیلیسیم روی زیر ساخت سیلیسیمی برای تولید محرکها و حسگرهای میکانیکی ریز مینیاتوری استفاده می کند .