ellipsometer

[برق و الکترونیک] الیپسومتر ابزاری برای اندازه گیری ضخامت و سایر پارامترهای مربوط به لایه های عایق بسیار نازک که در ساخت نیمرسانا استفاده می شوند. اساس کار آن اندازه گیری تغییر حالت حالت های قطبیدگی در اثر بازتاب نور از سطح قطبیدگی تابعی از ضخامت است.